半导体是制造芯片的基础材料，按照其制造技术可以分为：集成电路器件，分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等大类。半导体制造工艺是集成电路实现的手段，也是集成电路设计的基础。自从1948年晶体管发明以来，半导体器件工艺技术的发展经历了三个主要阶段：1950年采用合金法工艺，第一次生产出了实用化的合金结三极管；1955年扩散技术的采用是半导体器件制造技术的重大发展，为制造高频器件开辟了新途径；1960年平面工艺和外延技术的出现是半导体制造技术的重大变革，不但大幅度地提高了器件的频率、功率特性，改善了器件的稳定性和可靠性，而且也使半导体集成电路的工业化批量生产得以成为现实。目前平面工艺仍然是半导体器件和集成电路生产的主流工艺。

在半导体制造工艺发展的前期，特征尺寸的缩小是半导体技术发展的一个标志，有效等比缩小的努力重点集中在通过提高器件速度以及在成品率可接受的芯片上集成更多的器件和功能来提高性能。当半导体行业演进到45nm节点或更小尺寸的时候，器件的等比缩小将引发巨大的技术挑战。其中两大挑战是不断增长的静态功耗和器件特性的不一致性，这些问题来源于CMOS工艺快要到达原子理论和量子力学所决定的物理极限。

近日，据SEMI公布报告指出，2018年全球半导体制造设备销售总额达645．3亿美元，年成长14％，创历史新高水平。韩国蝉联最大市场，2018年的销售金额177．1亿元。中国大陆首次超越台湾，以131．1亿美元的成绩首度跃升第二大半导体设备市场，且年增59％，成长幅度也最大。

尽管如此，全球半导体设备市场仍然集中度很高，国内自给率仅有5％左右，未来国产替代空间巨大。随着半导体制造向中国转移，国内很多半导体设备企业将受益，它们是北方华创、晶盛机电、长川科技等。

中国十大半导体设备厂商

1、中微半导体
中微半导体是一家全球微型制造设备公司，为半导体行业和相邻高科技行业的客户提供服务。设备用于构建世界上最先进的技术，微小的纳米级设备，为创新产品提供智能和记忆，改善我们的生活。通过中微员工的才能，热情和专注，中微创建了一家新型微制造设备公司，实现了技术和生产力的突破，赢得了全球顶级芯片制造商和其他技术创新者的信任。

2、中电科电子装备集团
公司凭借中国电子科技集团公司国有大型企业雄厚的技术和经济实力，以及第45研究所在电子装备领域四十多年丰富的技术积累和技术精湛的研发人才优势，致力于我国超大规模集成电路关键装备及其它电子制造关键装备的研究与开发。主要从事集成电路平坦化工艺设备及先进封装设备等电子成套装备的研发、设计、制造与市场服务，建设微电子装备国家工程研究应用中心。并在半导体照明（LED）生产制造设备、太阳能电池生产制造设备等信息产业制造装备的研发与制造方面形成独特优势。

3、北方华创
由北京七星华创电子股份有限公司和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司战略重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的领先企业。

北方华创拥有半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个事业群，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有四大产业制造基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

4、沈阳拓荆科技有限公司
沈阳拓荆科技有限公司是由海外专家团队和中科院所属企业共同发起成立的国家高新技术企业。拓荆公司致力于研究和生产世界领先的薄膜设备，两次承担国家科技重大专项。2016年、2017年连续两年获评“中国半导体设备五强企业”。

公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜沉积设备）、3D NAND PECVD（三维结构闪存专用PECVD设备）三个完整系列产品，技术指标达到国际先进水平。产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D－NAND闪存、OLED显示等高端技术领域。

5、晶盛机电
浙江晶盛机电股份有限公司是一家以“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”为使命的高端半导体装备和LED衬底材料制造的高新技术企业。

晶盛机电是一家专业从事晶体生长、加工装备研发制造和蓝宝石材料生产的企业，2018年度，公司实现晶体生长设备营业收入19．40亿元，智能化加工设备营业收入2．77亿元，蓝宝石材料营业收入1．25亿元。

6、长川科技
长川科技是一家专注于集成电路装备的研发、生产和销售的高新技术企业，为集成电路电参数性能测试提供生产平台和技术服务。公司总部位于杭州市滨江区，设有北京研发中心，日本、常州、香港子公司，台湾、上海办事处。

公司非常重视新产品的开发与创新，每年将销售额的18％左右用于产品研发，核心技术均来源于自主研发，已申报专利127项，已授权发明专利29项，实用新型专利60项，计算机软件著作权37项，构筑了严密的知识产权保护体系，成为集成电路封测行业技术领军企业。

7、上海微电子装备
上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

SMEE致力于以极致服务，造高端产品，创卓越价值，全天候、全方位、全身心地为顾客提供优质产品和技术服务。SMEE已通过ISO27001信息安全、ISO9000质量管理和ISO14001环境管理等体系的国际认证，力求为客户提供持续、稳定、高品质的产品和服务。

8、至纯科技
至纯科技，成立于2000年，是一家在上交所上市的高新技术企业，证券代码603690．SH。公司坐落于上海紫竹这个国家级科学园区内，注册资本2．08亿元，致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案。系统解决方案涵盖了提供整个系统的设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务。 我们提供的系统和专业服务，广泛应用于半导体、微电子、生物医药、光伏、光纤、TFT－LCD、LED等领域。

公司的客户均为各自领域的佼佼者，包括华力、华润上华、士兰微、台积电、力晶等半导体知名用户；京东方、和辉等等显示屏领导者；中天、富通、通鼎、亨通等光纤用户；华灿、聚灿、圆融、国星光电等LED用户；英利、晶澳等光伏用户；以及中信国健、扬子江药业、武汉生物所、华瑞等生物制药企业。

9、凯世通
上海凯世通半导体股份有限公司，2009年4月在张江成立，由中组部“千人计划”入选获得者及国家特聘专家——陈炯博士为首的五位世界一流离子注入设备专家创立。该团队所开发的离子注入机全球销售逾千台，代表机型E220／E500，GSD，iStar，iPulsar。
上海凯世通半导体股份公司注册资本5000万人民币，是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业，主要研制、生产、再制造和销售国际领先高端离子注入机，重点应用于光伏太阳能电池，新型平板显示，和半导体集成电路领域。

10、屹唐半导体
屹唐半导体从事半导体的技术开发和设备制造，为全球晶圆厂客户提供干法去胶、干法刻蚀、快速热处理、毫秒级快速热处理等设备及应用方案，拥有完整的知识产权。干法去胶、快速热处理、毫秒级快速热处理设备在各自细分领域都位于世界前三，其主要客户涵盖所有位列全球前十的芯片制造厂商。

半导体设备行业并非什么企业都能入局，技术门槛和资金门槛很高，随着制程越来越先进，对半导体设备的性能和稳定性提出了越来越高的要求，需要投入大量的研发资金。在全球半导体设备市场上，美国和欧洲占主导地位，中国在中低端市场上有一定的市场份额，产值成为全球第二大半导体设备需求市场，但高端方面仍需要继续努力。